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氬離子拋光機的工作原理簡介
發布時間:2023-09-18 來源:本站 瀏覽量:1177

氬離子拋光機是一種用于表面處理的設備,其工作原理是利用氬離子束高速撞擊樣品表面,以去除表面凹凸不平的區域,從而實現拋光處理。下面將詳細介紹氬離子拋光機的工作原理。

首先,氬離子拋光機內部設有一個離子源,它利用電場和磁場將氬原子電離并加速到數千電子伏特的高能狀態。這些高能氬原子束在電場力的作用下,以高速(接近光速)撞擊樣品表面,其能量足以去除樣品表面的原子和分子。

氬離子拋光機工作原理示意圖

當氬離子束撞擊樣品表面時,能量會迅速傳遞到樣品表面,并使表面原子受到足夠的力以克服其結合能并從表面脫離。這種過程被稱為濺射。在濺射過程中,樣品表面的凸起和不規則區域更容易受到氬離子的撞擊,因此表面形貌得以平坦化,達到拋光的效果。

另外,氬離子束拋光還具有一些其他優點。例如,氬離子束的能量足夠高,可以去除表面污染和吸附物,提高樣品的純度和反應活性。此外,氬離子束的轟擊方向幾乎垂直于樣品表面,可以有效地去除表面粗糙部分而不影響樣品的幾何形狀和尺寸。

圖片8.png

總的來說,氬離子拋光機通過利用高速運動的氬離子束對樣品表面進行撞擊,去除表面不平整的部分,使表面變得光滑、平整。這種技術在材料科學、物理學、化學、生物學等領域中有著廣泛的應用。


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